微纳加工
微纳加工是一种特种超精细加工技术，由于具有极大瞬态功率的超短脉冲光与物质强烈的非线性相互作用，使加工技术适用于各种材料。对于透明介质，可以在其内部制备三维结构。其“特”就表现在可以加工特种材料、可以实现特殊结构和特定的光、电、机械等性能。
盛镭Hercules飞秒系列激光器具有高功率、高重频、窄脉宽等特点，可用于光刻、刻蚀等工艺，实现微米级甚至纳米级的加工精度。
引自《柔性电子制造领域的超快激光技术：机制、特征功用及挑战》，季凌飞等。
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脉冲宽度 <240fs； 平均功率 5W-40W； 单脉冲能量 5μJ-100μJ； 激光波长 1030nm/515nm/343nm
脉冲宽度 <300fs； 平均功率 10W-30W； 单脉冲能量 30μJ-300μJ； 激光波长 1030nm/515nm/343nm
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